南茂科技导入RFID技术于晶圆测试应用(下)
摘要因为晶圆盒进出搬运时采纸箱包装，有两个或一个晶圆盒装成一个纸箱中，并堆栈于栈版上，因此我们需寻找能够容纳南茂栈版宽度通过且能达到读取卷标的天线。依照南茂栈版宽度120cm要求下，我们测试德国FEIG LR2000型号RFID读取器与天线（图4）发现他的有效读取距离可以达到160cm，因此我们设定在140cm作为闸门宽度（图5），一方面可以顾及到RFID读取率，另一方面也不会因闸门天线的架设而影响原先厂内设备移动的动线规划。
RFID导入晶圆盒追踪实做成果
仓库与生产线进出处采用闸门式天线
因为晶圆盒进出搬运时采纸箱包装，有两个或一个晶圆盒装成一个纸箱中，并堆栈于栈版上，因此我们需寻找能够容纳南茂栈版宽度通过且能达到读取卷标的天线。依照南茂栈版宽度120cm要求下，我们测试德国FEIG LR2000型号RFID读取器与天线（图4）发现他的有效读取距离可以达到160cm，因此我们设定在140cm作为闸门宽度（图5），一方面可以顾及到RFID读取率，另一方面也不会因闸门天线的架设而影响原先厂内设备移动的动线规划。
同时需考量此RFID卷标贴附位置能满足所有RFID应用流程，我们实验结果是贴在晶圆盒内层拖盘（图17）上方，同时RFID标签也会存放晶圆批号等厂内品管作业流程所需代号。
在这里我们采用FEIG MR200 读取器及天线多任务切换器（图9）及客制尺寸天线板，其运作方式为使用一台MR200读取器接上天线多任务切换器，此天线多任务切换器可以一对八一组或是二对四两组来使用，因为氮气柜分为八个区间，所以自然选用一对八模式来使用，如果超过八个以上，还可以接成阶梯树状延伸使用范围。
仓库与生产线进出处采用闸门式天线
因为晶圆盒进出搬运时采纸箱包装，有两个或一个晶圆盒装成一个纸箱中，并堆栈于栈版上，因此我们需寻找能够容纳南茂栈版宽度通过且能达到读取卷标的天线。依照南茂栈版宽度120cm要求下，我们测试德国FEIG LR2000型号RFID读取器与天线（图4）发现他的有效读取距离可以达到160cm，因此我们设定在140cm作为闸门宽度（图5），一方面可以顾及到RFID读取率，另一方面也不会因闸门天线的架设而影响原先厂内设备移动的动线规划。
同时需考量此RFID卷标贴附位置能满足所有RFID应用流程，我们实验结果是贴在晶圆盒内层拖盘（图17）上方，同时RFID标签也会存放晶圆批号等厂内品管作业流程所需代号。
氮气柜RFID设备
在这里我们采用FEIG MR200 读取器及天线多任务切换器（图9）及客制尺寸天线板，其运作方式为使用一台MR200读取器接上天线多任务切换器，此天线多任务切换器可以一对八一组或是二对四两组来使用，因为氮气柜分为八个区间，所以自然选用一对八模式来使用，如果超过八个以上，还可以接成阶梯树状延伸使用范围。
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